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本機器是對基板彎曲量進行測量的儀器。 根據(jù)沿著測量平臺進行移動的激光傳感器對被放在平臺上的基板的彎曲高度進行測量,依據(jù)被設(shè)置的最大彎曲量和彎曲容許量的數(shù)值對基板的測量結(jié)果進行合格與否的判定。 使用選定的軟件,在個人電腦的Excel中對測量后的數(shù)據(jù)程序進行讀取。
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